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      中科科美研制的高精密鍍膜裝置在先進光源技術(shù)研發(fā)與測試平臺正式運行

      來源:北京科儀|2021-07-01|        【打印】【關(guān)閉】

        在慶祝中國共產(chǎn)黨百年華誕之際,由國家發(fā)改委立項支持、中科院高能物理研究所承建的高能同步輻射光源(HEPS)首臺科研設(shè)備于6月28日上午安裝,為其提供技術(shù)研發(fā)與測試支撐能力的先進光源技術(shù)研發(fā)與測試平臺(PAPS)啟動試運行。其中,北京中科科儀股份有限公司控股公司中科科美研制的直線式勞埃透鏡鍍膜裝置及納米聚焦鏡鍍膜裝置也于同一天正式投入使用。

        直線式勞埃透鏡鍍制裝置及納米聚焦鏡鍍制裝置可實現(xiàn)各類高能物理裝置聚焦鏡、單色鏡、勞埃鏡、納米聚焦鏡等膜層制備。在兩裝置研制過程中,中科科美突破了多項先進制造技術(shù):精密加工制造技術(shù),實現(xiàn)大型真空腔室及復雜運動系統(tǒng)精密加工與裝配、減震及超潔凈等嚴苛設(shè)計指標;大型真空系統(tǒng)超高真空獲得技術(shù),實現(xiàn)結(jié)構(gòu)復雜、內(nèi)部零部件放氣量大的大型真空腔室系統(tǒng)極限真空度達到10-6Pa;高精度直線運動控制技術(shù),實現(xiàn)長距離導軌運行平行度達到微米量級、運動系統(tǒng)速率穩(wěn)定性控制在千萬之一以內(nèi);復雜鍍膜工藝技術(shù),實現(xiàn)高精度納米量級萬層鍍膜工藝,膜厚精度控制在0.1納米以內(nèi)。經(jīng)相關(guān)主管部門和院所專家委員會現(xiàn)場測試,高精密鍍膜裝置結(jié)構(gòu)設(shè)計合理、制造工藝先進、主要性能指標達到國際同類產(chǎn)品水平,填補了該領(lǐng)域內(nèi)多項國內(nèi)技術(shù)空白。
        HEPS是國家“十三五”重大科技基礎(chǔ)設(shè)施項目之一,該項目于2019年6月29日開工建設(shè),建設(shè)周期6.5年。建成時,HEPS將成為中國第一臺高能量同步輻射光源之一,為基礎(chǔ)科學和工程科學領(lǐng)域原創(chuàng)性、突破性創(chuàng)新研究提供重要支撐平臺。北京科儀控股公司中科科美憑借在真空系統(tǒng)集成領(lǐng)域深厚的專業(yè)技術(shù)積淀、強大的整體方案解決能力和一站式服務能力參與到該項目中,為國家重大科技基礎(chǔ)設(shè)施項目實施和技術(shù)攻關(guān)貢獻了力量。


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