10月11日至14日，第十屆亞洲和澳大利亞真空與表面科學(xué)會議（VASSCAA-10）暨中國真空學(xué)會2021學(xué)術(shù)年會在上海召開。VASSCAA是國際真空科學(xué)、技術(shù)和應(yīng)用聯(lián)盟 (IUVSTA)正式認可、在國際真空科學(xué)技術(shù)會議章程中規(guī)定設(shè)立的特別科學(xué)會議。北京中科科儀股份有限公司受邀參加本次年會。
會上，北京科儀研究員李賞作《磁懸浮分子泵技術(shù)及應(yīng)用》學(xué)術(shù)報告，系統(tǒng)介紹了磁懸浮分子泵的概況、最新技術(shù)成果、市場與應(yīng)用及發(fā)展趨勢。
磁懸浮分子泵作為超高真空獲得設(shè)備，是高端科學(xué)儀器和集成電路關(guān)鍵工藝裝備的核心零部件。因其可獲得高潔凈度的超高真空環(huán)境，并能在寬壓強范圍內(nèi)穩(wěn)定持續(xù)排氣，同時具備低振動、低功耗、易集成、免維護等特點，磁懸浮分子泵被廣泛應(yīng)用于工業(yè)鍍膜、科研儀器、芯片制造和航空航天等領(lǐng)域。
據(jù)悉，北京科儀研制的磁懸浮分子泵在性能、可靠性和易用性等方面取得長足進步，已批量應(yīng)用于高端鍍膜行業(yè)，并在刻蝕、離子注入等半導(dǎo)體前道工藝設(shè)備上實現(xiàn)突破，助力國產(chǎn)高端科學(xué)儀器和集成電路制造關(guān)鍵工藝裝備產(chǎn)業(yè)鏈自主可控能力提升。
未來，北京科儀將繼續(xù)秉承“創(chuàng)新科學(xué)儀器 發(fā)展一流企業(yè)”的使命，聚力核心技術(shù)攻關(guān)，全力突破“卡脖子”問題，為中國真空技術(shù)發(fā)展持續(xù)貢獻力量。
學(xué)術(shù)報告現(xiàn)場
磁懸浮分子泵
