11月15日，第二十五屆中國國際高新技術(shù)成果交易會（以下簡稱高交會）在深圳開幕。記者在中國科學(xué)院專館看到，作為尖端科學(xué)儀器和真空技術(shù)領(lǐng)軍者——北京中科科儀股份有限公司攜其全資子公司科儀光電帶來了具有自主知識產(chǎn)權(quán)的場發(fā)射槍掃描電子顯微鏡產(chǎn)品KYKY-EM8100。據(jù)悉，這是該產(chǎn)品首次在高交會亮相。
國產(chǎn)高端場發(fā)射槍掃描電鏡產(chǎn)品引人關(guān)注。朱漢斌 攝
場發(fā)射槍掃描電鏡是納米技術(shù)、生物技術(shù)、醫(yī)學(xué)、化學(xué)、物理學(xué)研究的重要工具，在半導(dǎo)體集成電路加工、微機(jī)電系統(tǒng)、微型傳感器等信息技術(shù)支撐領(lǐng)域和環(huán)境保護(hù)領(lǐng)域也發(fā)揮著重要作用；同時(shí)，場發(fā)射槍掃描電鏡在蟲害的防治、災(zāi)害（火災(zāi)、失效分析）鑒定、刑事偵察、產(chǎn)品質(zhì)量鑒定等方面也有廣泛的應(yīng)用，對于我國的基礎(chǔ)科學(xué)研究、生產(chǎn)工藝控制、各分類學(xué)科的研究有著不可替代的重要地位。
記者獲悉，2013年，由北京中科科儀股份有限公司牽頭，聯(lián)合北京大學(xué)、中國科學(xué)院微電子研究所、中國科學(xué)院生物物理研究所、國家環(huán)境分析測試中心、清華大學(xué)等單位，承擔(dān)國家重大科學(xué)儀器設(shè)備開發(fā)專項(xiàng)“場發(fā)射槍掃描電子顯微鏡開發(fā)和應(yīng)用”，并于2017年推出國產(chǎn)高端場發(fā)射槍掃描電子顯微鏡產(chǎn)品KYKY-EM8100，解決了高分辨率電子光學(xué)成像系統(tǒng)、系統(tǒng)集成調(diào)試等關(guān)鍵技術(shù)。
KYKY-EM8100場發(fā)射槍掃描電鏡的技術(shù)優(yōu)勢主要有方面：一是自主設(shè)計(jì)制造了低像差物鏡；二是，突破了電子束鏡筒加速技術(shù)；三是自主研制了電子光學(xué)智能化控制系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)了自動燈絲加熱、自動偏壓、自動孔徑角、自動聚焦、自動亮度/對比度等電子光學(xué)智能化控制功能，還實(shí)現(xiàn)了圖像增強(qiáng)、圖像銳化、樣品尺寸測量、形貌擬合、顆粒度分析等功能，大大提升了產(chǎn)品的功能性與使用便捷性，助力打好科技儀器設(shè)備國產(chǎn)化攻堅(jiān)戰(zhàn)。
據(jù)介紹，該款掃描電鏡是北京中科科儀股份有限公司承擔(dān)科技部國家重大科學(xué)儀器設(shè)備開發(fā)專項(xiàng)“場發(fā)射槍掃描電子顯微鏡開發(fā)和應(yīng)用”研制成果的一部分。該設(shè)備目前已完成科技成果轉(zhuǎn)化及產(chǎn)業(yè)化落地，并形成批量銷售。
（作者|朱漢斌 王寧，本文轉(zhuǎn)載自中國科學(xué)報(bào)，2023-11-15）
